関連: 半導体・マイクロエレクトロニクス・データストレージ
Atomic Force Microscopy (AFM) is widely used as a tool in semiconductor and microelectronics during the development, production, and failure analysis stages. Please refer to the pages linked below for more information.
Cypher AFM用のコンタクト共振粘弾性マッピングモード (Contact Resonance Viscoelastic Mapping Mode) は、1 GPa〜100 GPa程度の弾性率を有する材料に適しており、弾性および粘弾性ダンピングの両方を定量的にマッピングします。Dual AC™ 共振トラッキング (Dual AC Resonance Tracking;…
Jupiter XR AFM対応の高速フォースマッピング(Force-distance curve mapping)モードは、高速(最大2500 Hz)でフォースカーブ(力-距離曲線)を測定し、イメージ内で全フォースカーブを取得します。リアルタイムおよびオフラインの両方で解析モデルを適用し、弾性率、凝着力、その他の特性を計算することができます。
ORCA™ は Cypher AFM/SPM で利用でき、コンダクティブAFMイメージングやI-V測定が可能です。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。
アサイラム・リサーチの MFP-3D-BIO は、バイオサイエンス研究用に AFM と光学顕微鏡を統合するという製品の基準を打ち立てました。この製品は、AFM のイメージング分解能やフォース測定性能、アプリケーションの多様性を妥協することなく、あらゆる種類の光学技術とシームレスに統合させた唯一のバイオ AFM です。 アサイラム・リサーチの専門家による比類のないサポート体制と相まって、この製品は、お客様の研究を推進するうえで最良かつ最も生産的な…
NanoTDDB™ は、ナノスケールの精度で絶縁破壊の特性評価を可能にします。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタリングしながら、最大±220 V の一定または勾配変化させたバイアス電圧を印加できます(MFP-3D Originを除く、全MFP-3Dモデルで利用可能。 MFP-3D Infinityの電圧範囲は±150 V)。
Cypher AFM/SPM対応のAM-FMモードは、タッピングモードの特長と利点をナノメカニカル特性(力学物性)マッピングに取り入れたものです。通常のタッピングモードは、サンプルへのダメージを極力抑えた状態で、高分解能の形状像を提供しますが、一方、セカンドモードから得られる共振は、材料の貯蔵弾性率および損失弾性率、また、探針-サンプル間のエネルギー損失を定量的に推定するために解析されます。
Cypher AFM/SPMにsMIMを搭載することにより、金属、半導体、絶縁体においてナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能です。
アサイラム・リサーチの Cypher ES は、抜群の性能を誇る Cypher S のプラットフォームにフル装備の環境制御機能を拡張追加したモデルです。Cypher S と同じ高分解能、スピードそして安定性を持ちながら、0 ∼ 250°Cの温度範囲において制御された、ガス・液体雰囲気環境や厳しい化学的環境の中でも、容易に操作が可能です。Cypher ES は、最も過酷な実験要件を満たすための究極の…
アサイラム・リサーチのCypher S は Cypher AFM ファミリーのベースモデルです。 Cypher S は製品 AFM の中で、業界初の高速スキャンニングモデルであり、Cypher AFM ファミリーは、全測定モードおよびアクセサリに対応した、唯一のフル機能搭載高速スキャニングAFMでありつづけます。また、Cypher AFM ファミリーは、他の…
Cypher AFMの高速フォースマッピング (Fast Force Mapping; FFM) モード は、高速(最大1000 Hz)のピクセルレートでフォースカーブ(力-距離曲線)を測定し、イメージ内で全フォースカーブを取得します。解析モデルをリアルタイムおよびオフラインで適用でき、弾性率、凝着力、その他の特性の算出が可能です。
Cypher ES AFM/SPM 対応のヒータステージは、密閉環境において、ガス中のサンプルを室温から250°Cまで加熱制御できます。
Cypher ES ポリマーエディションは、特にポリマーサイエンスの研究分野で優れた結果を生み出すよう、Cypher ES AFM の構成を最適化したモデルです。本モデルは Cypher ES の持つ並外れた性能と汎用性を共有していますが、その他に blueDrive 光熱励振、NanomechPro ツールキットよりナノメカニカル特性評価用の強力なツール 3…
プローブステーションは、MFP-3Dスキャナ上に取り付けることで、AFM/SPM走査しながら、サンプルに対して電気的プロービング、電気的バイアス、その他の測定が容易に行えます。多様な電気的接続が可能で、さまざまなイメージングモードと組み合わせることができます。
nanoTDDB™ はCypher AFM/SPMで使用できるモードです。ナノスケールの精度で誘電体薄膜の破壊電圧を検出できるため、その特性評価が可能になります。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタリングしながら、最大±150 V の一定または勾配変化させたバイアスを印加できます。
MFP-3D Origin™は、既存の低価格帯 AFM と競争力のある価格設定ながら、アサイラム・リサーチならではの高性能・高品質を特長としたモデルです。MFP-3D Origin は、性能と価格のバランスをとりながら、高分解能イメージングの提供、大きなサンプルのハンドリング、多彩なイメージングモード、および多様なアクセサリをサポートしています。 AFM を使い始めるにあたっての最高の入門モデルです!
MFP-3D AFM/SPM 用のコンタクト共振粘弾性マッピングモード (Contact Resonance Viscoelastic Mapping Mode) は、約1 GPa〜300 GPaの弾性率を有する材料に適しており、弾性および粘弾性ダンピングの両方を定量的にマッピングします。Dual AC™ 共振トラッキング (Dual AC Resonance…
Cypher VRS1250は、初代Cypher VRSの2倍の速さである最大1250ライン/秒でスキャンを行います。これにより、最大45フレーム/秒のフレームレートでより高い時間分解能を実現することや、より低いフレームレートでさらに多くの画像ピクセルを収集して空間分解能を向上させることが可能です。超安定イメージングや、かん流機能付きの使いやすい完全密閉サンプルセル、充実したモードやアクセサリーが利用可能なCypher…
MFP-3D AFM/SPM対応のAM-FMモードは、タッピングモードの特長と利点をナノメカニカル特性(力学物性)マッピングに取り入れたものです。通常のタッピングモードは、サンプルへのダメージを極力抑えた状態で、高分解能の形状像(トポグラフィ)を提供しますが、一方、セカンドモードから得られる共振は、材料の貯蔵弾性率および損失弾性率、また、探針-サンプル間のエネルギー損失を定量的に推定するために解析されます。
ORCA™コンダクティブAFMプローブホルダにより、すべてのMFP-3D AFM/SPM で、コンダクティブAFMイメージングおよびI-V測定をご利用いただけます。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。
高速フォースマッピング(Force-distance curve mapping)モードは、高速(最大300 Hz)のピクセルレートでフォースカーブ(力-距離曲線)を測定し、イメージ内で全フォースカーブを取得します。解析モデルをリアルタイムおよびオフラインで適用できます。(MFP-3D Infinityのみ対応)
MFP-3D Origin+ は既存の低価格帯AFMと競争力のある価格で、高性能かつ幅広い機能を提供します。MFP-3D Origin+ は、あらゆる研究分野に対応できる極めて汎用性の高い、研究用高性能 AFM です。MFP-3D Origin と同じコア性能となりますが、革新的な MFP-3D 用アクセサリのすべてをサポートしていることが大きな特長です。同じような低価格帯の他社製AFMは、多くの場合、性能面で劣り、かつ機能一式が非常に限られているのに対し、MFP-3D…
Jupiter XR AFM 対応のAM-FMモード は、タッピングモードの特長と利点をナノメカニカル特性(力学物性)マッピングに取り入れたものです。 通常のタッピングモードで、サンプルへのダメージを極力抑えた状態で高分解能の形状像(トポグラフィ)を提供します。一方、セカンドモードから得られる共振は、材料の貯蔵弾性率および損失弾性率、また、探針-サンプル間のエネルギー損失を定量的に推定するために解析されます。
レーザー干渉変位計測(IDS; Interferometric Displacement Sensor)はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるたわみ検出法(OBD, optical beam deflection)で使用されるカンチレバー角度の代わりに、カンチレバーのたわみ (deflection) を直接測定します。IDSは静電結合によるアーティファクトを排除し、特に圧電応答力顕微鏡(PFM)や…
Jupiter XR は大型試料対応の原子間力顕微鏡(AFM/SPM)で、原子・分子レベルの「超高分解能」に加え、「高速スキャン」「広域スキャン」を兼ね備えた、基本性能に優れたAFMです。革新的かつ堅牢な最新設計に加え、独自のblue Drive 光熱励振タッピングにより、安定した再現性の高い測定が可能で、ナノラフネス 粗さ測定において、15時間 1000枚の連続測定を可能にします。
sMIM(Scanning Microwave Impedance Microscopy, 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡)により、金属、半導体、絶縁体におけるナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能となります(MFP-3D Originを除く全MFP-3D モデルに対応)。
PolyHeater (ポリマーヒーター)は、大気中あるいは制御された気体環境中で、室温から300˚Cまでの高温におけるポリマー研究のために特別に設計されたモジュール式の加熱ステージです。最大 20 mm径のサンプルに対応。MFP-3D Origin用のPolyHeaterは室温から275°Cまで加熱でき、環境コントローラが不要です。