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  2. アサイラム・リサーチの 原子間力顕微鏡 AFM/SPM システムとアクセサリ
  3. Cypher用アクセサリ：ナノスケール電気特性評価
  4. 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)

走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)

考えられる故障点を示す半導体デバイスのsMIMイメージ
Datasheet

Cypher AFM/SPMにsMIMを搭載することにより、金属、半導体、絶縁体においてナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能です。

  • 横方向の分解能が向上（10倍）

  • 競合技術と比べて最大80倍速く、低電力で動作


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