走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)

走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM) は、マイクロ波RF信号を利用して、半導体などの電荷キャリアの位置、ドーパント濃度およびドーパントタイプ (p-type vs. n-type) 等をナノ領域で可視化するイメージング技術です。SCMは、Jupiter XR AFM および Cypher システムでお使いいただけます。最新技術を駆使して設計されたオックスフォード・インストゥルメンツのSCMは、従来のSCMと比べて高い性能と機能をご提供します。

• dC/dVに加えて、ドーパント濃度と線形的に相関するキャパシタンス（静電容量）も同時に測定するため、データ解釈が容易になります。

• 従来よりも20倍以上速いスキャンニングにより、生産性がアップします。(1フレームをわずか10秒でイメージング！)

• 高感度化により、半導体に加えてバッテリーなどのエネルギー貯蔵デバイスや2Dマテリアルなどの測定が可能です。

• 高解像度のイメージング技術により、きわめて小さな構造の電気特性を明らかにします。

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