走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)

Scanning Capacitance Microscopy (SCM) of SRAM (Static RAM) by AFM imaging channels

Scanning Capacitance Microscopy (SCM) of SRAM (Static RAM) high speed AFM imaging

Scanning Capacitance Microscopy (SCM) of SRAM (Static RAM) single wall carbon nanotube dC/dV amplitude and phase AFM imaging

走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM) は、マイクロ波RF信号を利用して、半導体などの電荷キャリアの位置、ドーパント濃度およびドーパントタイプ (p-type vs. n-type) 等をナノ領域で可視化するイメージング技術です。SCMは、Jupiter XR AFM および Cypher システムでお使いいただけます。最新技術を駆使して設計されたオックスフォード・インストゥルメンツのSCMは、従来のSCMと比べて高い性能と機能をご提供します。

dC/dVに加えて、ドーパント濃度と線形的に相関するキャパシタンス（静電容量）も同時に測定するため、データ解釈が容易になります。
従来よりも20倍以上速いスキャンニングにより、生産性がアップします。(1フレームをわずか10秒でイメージング！)
高感度化により、半導体に加えてバッテリーなどのエネルギー貯蔵デバイスや2Dマテリアルなどの測定が可能です。
高解像度のイメージング技術により、きわめて小さな構造の電気特性を明らかにします。

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