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Vero: 干渉計搭載型 原子間力顕微鏡 (AFM/SPM)

Vero原子間力顕微鏡は、QPDI (Quadrature Phase Differential Interferometry) を用いて探針の真の変位をより高い確度と精度で測定する、オックスフォード・インストゥルメンツ・アサイラム・リサーチの次世代のAFMです。 Cypher AFMファミリーの比類のない安定性と性能の上に構築されたこのユニークかつ革新的なQPDI (特許取得済) により、これまで以上に高い精度・確度・再現性のデータを提供します。

  • 探針の真の変位を測定

  • 測定感度の向上

    • 探針が面直方向に受ける力と面内方向に受ける力のクロストークを回避

      • 光の波長に基づく正確なキャリブレーション

        • Cypher SおよびESで利用可能


        お問い合わせ

        Vero Datasheet ダウンロード(英語)
        Vero Datasheet(英語)

        探針の真の変位を測定

        • QPDIは、カンチレバーの角度ではなく、真の探針変位を測定するため、AFM測定の定量性が向上します。

        測定感度の向上

        • QPDIは、カンチレバー検出ノイズを最大10倍以上低減するため、測定感度が向上します。

        探針が面直方向に受ける力と面内方向に受ける力のクロストークを回避

        • 探針の垂直方向の純粋な変位を測定するQPDIでは、OBD (光てこによるたわみ検出) の垂直方向と横方向とのクロストークを回避します。

        光の波長に基づく正確なキャリブレーション

        • 干渉計により、OBDを用いたキャリブレーションに関連する仮定や不確実性を回避します。

        標準装備の操作モード

        コンタクトモード
        DART PFM
        Dual AC
        Dual AC 共振トラッキング (DART)
        電気力顕微鏡 (EFM)
        フォースカーブモード
        フォースマッピングモード (フォースボリューム)
        フォースモジュレーション
        周波数変調モード
        ケルビンプローブフォース顕微鏡 (KPFM)
        水平力モード (LFM)
        ロスタンジェントイメージング
        磁気力顕微鏡 (MFM)
        ナノリソグラフィおよびナノマニピュレーション
        位相イメージング
        圧電応答顕微鏡 (PFM)
        スイッチングスペクトロスコピー PFM
        タッピングモード (AC モード)
        ベクトル PFM

        オプションの操作モード

        AM-FM 粘弾性マッピングモード
        コンタクト共振粘弾性マッピングモード
        高速フォースマッピングモード (FFM, Fast Force Mapping)
        コンダクティブAFM (CAFM)
        高速フォースマッピング (FFM) を用いた電流のマッピング
        電気化学ストレイン(歪み)顕微鏡 (ESM)
        高電圧 PFM
        ナノスケール絶縁膜経時破壊 (nanoTDDB)
        走査型静電容量 (SCM)
        走査型トンネル顕微鏡 (STM)

        その他アプリケーション

        機械・電子特性低次元構造の物性評価ピエゾ・強誘電体グラフェン・2次元 (2D) 材料Nanomaterials and Nanostructuresコーティング&薄膜材料科学ナノカーボン,グラフェンMagnetics Ferro- & Piezo - electrics

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