Jupiter XR AFMのnanoTDDB機能は、ナノ領域の絶縁破壊特性をウェハのまま評価することが可能です。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタしながら、最大±150 Vの一定または勾配変化させた電圧を印加することができます。 AFM探針の優れた空間分解能により、従来のプローバでは不可能であった、微小スケール(~20 nm)での、局所的な絶縁破壊の測定が可能になります。 …
Jupiter XR AFM対応の高電圧アクセサリ (HVA150) は、AFMの実験中に使用できる電圧範囲を±150 Vまで拡張し、圧電体・強誘電体材料、二次元材料、薄膜の高度なAFM特性評価を可能にします。HVA150が加わったことにより、Jupiter XRはそのユニークな機能をさらに拡げ、市場で最も高性能な大型サンプル対応AFMとなりました。この新規アクセサリにより、次のことが可能になります。 …