走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)

sMIM（Scanning Microwave Impedance Microscopy, 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡）により、金属、半導体、絶縁体におけるナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能となります（MFP-3D Originを除く全MFP-3D モデルに対応）。

• 横方向の分解能が向上（50 nm以下），優れたSN比(10倍以上)

• 競合技術と比べて最大80倍速く、低電力で動作

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