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走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)

sMIM(Scanning Microwave Impedance Microscopy, 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡)により、金属、半導体、絶縁体におけるナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能となります(MFP-3D Originを除く全MFP-3D モデルに対応)。

  • 横方向の分解能が向上(50 nm以下),優れたSN比(10倍以上)

  • 競合技術と比べて最大80倍速く、低電力で動作


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