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レーザー干渉変位計測 (IDS)

レーザー干渉変位計測(IDS; Interferometric Displacement Sensor)はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるたわみ検出法(OBD, optical beam deflection)で使用されるカンチレバー角度の代わりに、カンチレバーのたわみ (deflection) を直接測定します。IDSは静電結合によるアーティファクトを排除し、特に圧電応答力顕微鏡(PFM)や d33 の測定において、より正確で再現性の高い測定を可能にします。


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