EDSを使った低ダメージ分析とEBSD/AFMによる高速構造解析

電子顕微鏡でデバイスの不良解析等を行う場合、試料ダメージの低減や空間分解能の向上のため、低加速・低ビーム電流でのEDS分析が可能なシステムが要求されています。また近年ボンディングワイヤやパッド接合部等の構造解析による品質向上にEBSDが活用されています。それら測定事例を紹介すると共に、AFMを使ったキャパシタンス測定からドーパント濃度を可視化した事例や、ラマン分光を用いた半導体層の応力解析事例等をご紹介します。

※「SEMI パートナーサーチ」（主催SEMI）のウェビナーです。

(2022/7/13　15:30~15:55)

「原子間力顕微鏡を利用したトライボロジー関連特性評価」

最先端の原子間力顕微鏡(AFM)は、試料表面のトポグラフィーや表面粗さ測定にとどまらず、「力学特性」「高分子複合材料評価」「分子間相互作用力」「固液界面観察」「in-situその場観察」「環境制御（液 / ガス / 温湿度)」「電気化学」など、多様なサンプル評価・分析が可能です。今回のウェビナーでは、トライボロジー研究に焦点を当て、AFMを用いた最新の評価方法をご紹介します。

（2022/6/3　16:00~16:30）

「知っておきたいAFMの基本技術⑦－最適なプローブを選ぶための重要なポイント＜後半＞」

高分解能、ポリマーのナノメカニクス特性評価、半導体の粗さやトレンチ形状測定、ナノスケール電気測定といった具体的なアプリケーションを例に挙げ、使用したプローブや得られたイメージについてご紹介します。12月23日開催ウェビナー「最適なプローブを選ぶための重要なポイント＜前半＞」に続く内容です。

（2022/1/13　16:00~16:30）

「知っておきたいAFMの基本技術⑥－最適なプローブを選ぶための重要なポイント＜前半＞」

AFMプローブのバネ定数、共振周波数、探針形状などの特性がどのような意味を持つのか説明します。これらの基本を学んで、測定の目的やお持ちの装置に合ったプローブを選択しましょう。弊社ユーザ様以外の方々にもご参加いただける内容となっております。

（2021/12/23　16:00~16:30）

「AFMを用いた異物箇所 ローカリゼーション」

半導体分野における微小異物の位置を迅速かつ正確に把握するAFMシステムおよび最新技術についてご紹介します。

（2021/10/1　16:00~16:30）

※視聴をご希望の場合はこちらからご連絡ください

「Live APAC Webinar: Energizing Research in Battery Performance with Advanced AFM」

Dr. Nate Kirchhofer will discuss the environmental and electrochemical control needed for conducting operando battery research, with real examples of AFM electrochemical imaging.

（2021/9/9　14:00~15:00 JST)

「知っておきたいAFMの基本技術⑤－環境制御・その場観察におけるポイント」

「試料の加熱/冷却」や「ガス雰囲気」「有機溶媒中」「湿度制御下」などの、環境制御下でのAFM測定についてウェビナーを開催します。

（2020/9/18　16:00~）

「知っておきたいAFMの基本技術④－ナノメカニクス測定のための重要なポイント＜後半＞」

ナノ領域の力学物性を評価するナノメカニクス測定について前後半の2回に分けてウェビナーを開催します。粘弾性マッピングの手法やデータの定量性, 測定ノウハウについてご紹介します。

（2020/8/7　16:00~）