Asylum Research ウェビナー：薄膜解析のためのAFMツール

概要

薄膜やコーティングは、一般的な消費者向け製品から次世代の太陽光発電・データストレージに至る、あらゆる分野において重要な技術です。アプリケーションを問わず、マイクロ、ナノメートルの長さスケールで材料を制御・操作することにより、フィルム性能のさらなる向上が達成されます。このようなことから、同程度のスケールでフィルムの構造や特性を測定するニーズが重要となっています。

このウェビナーでは、現在の原子間力顕微鏡（AFM）が有する薄膜特性評価のための強力な機能について掘り下げます。たとえばAFMは、高分解能な形状イメージング機能がよく知られていますが、最近では、速度、感度、使いやすさの面で改善されており、3次元のラフネス（粗さ）やテクスチャの定量化にとって有益な技術となっています。このウェビナーでは、表面のイメージングや解析の基本的な考え方を説明するとともに、実例にも触れます。

研究や装置の進歩により、電気的、電気機械的、機能的な応答を特性評価するさまざまなAFM技術も生み出されました。これらの手法の概要を解説し、半導体産業におけるメモリアクセスデバイスへの応用例を詳細に説明します。また、ナノメカニカルイメージングの新機能についても簡単に紹介します。

このウェビナーは、幅広いシステムを網羅した例とともに、薄膜の研究開発向けの先進のAFMのインパクトや多用途性をハイライトしています。

講師紹介

Dr. Donna Hurley, Consultant, Lark Scientific LLC

Dr. Kumar Virwani, Staff Member, IBM Research-Almaden