圧電応答顕微鏡 (PFM, Piezoresponse Force Microscopy)

チタン酸鉛膜のAFM形状に垂直PFM振幅を重ね合わせたもの, 5 µmスキャン。イメージはMFP-3D AFM/SPMで取得。イメージ提供：A. Gruverman氏および D. Wu氏 (UNL)。サンプル提供：H. Funakubo氏。

MFP-3D AFM

ピエゾフォースモジュールは、強誘電体やマルチフェロイックを含む圧電体上で、超高感度でクロストークフリーな測定を行うために、高い探針バイアス電圧印加（最大± 220 V）を可能にします（MFP-3D Infinityでは最大±150 V）。Originを除く全MFP-3D AFM/SPMで利用可能。

クロストークのない測定
高感度
探針バイアス電圧、最大± 220 Vを印加可能（MFP-3D Infinityでは最大±150 V）。

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アサイラムAFMによる圧電応答顕微鏡 (PFM)
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