MFP-3D アクセサリ：ナノスケール電気特性評価

ORCA™コンダクティブAFMプローブホルダにより、すべてのMFP-3D AFM/SPM で、コンダクティブAFMイメージングおよびI-V測定をご利用いただけます。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。

ピエゾフォースモジュールは、強誘電体やマルチフェロイックを含む圧電体上で、超高感度でクロストークフリーな測定を行うために、高い探針バイアス電圧印加（最大± 220 V）を可能にします（MFP-3D Infinityでは最大±150 V）。Originを除く全MFP-3D AFM/SPMで利用可能。

電気化学セル（ECセル, Electrochemistry Cell）は、金属およびその他の物質の析出や酸化、腐食、物質移動の、その場観察を可能にします。セルは完全密閉で動作させることができ、室温から最高60°Cまでの加熱機能を装備することが可能です（全MFP-3Dモデルで利用可能。加熱バージョンはOriginでは利用不可）。

sMIM（Scanning Microwave Impedance Microscopy, 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡）により、金属、半導体、絶縁体におけるナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能となります（MFP-3D Originを除く全MFP-3D モデルに対応）。

NanoTDDB™ は、ナノスケールの精度で絶縁破壊の特性評価を可能にします。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタリングしながら、最大±220 V の一定または勾配変化させたバイアス電圧を印加できます（MFP-3D Originを除く、全MFP-3Dモデルで利用可能。 MFP-3D Infinityの電圧範囲は±150 V）。

STM （Scanning Tunneling Microscopy, 走査型トンネル顕微鏡）モードは、MFP‑3D AFM/SPMで利用でき、導電性サンプルの超高分解能イメージングに役立ちます。

ESM（Electrochemical Strain Microscopy, 電気化学ストレイン顕微鏡，電気化学歪み顕微鏡）は、新しい走査型プローブ顕微鏡法であり、これまでにない分解能で、固体中の電気化学反応やイオン流を調べることができます。（MFP-3D Originを除く全MFP-3D AFM/SPMで利用可能）