Cypher アクセサリ：ナノスケール電気特性評価

ケルビンプローブフォース顕微鏡 (Kelvin Probe Force Microscopy) は、サンプルの電位を画像化するために使用されます。これは表面プローブ法であり、表面電位と仕事関数に関する情報が得られます。 Ergo KPFMソフトウェアは、セットアップとスキャン設定のいずれも自動化します。従来は手間のかかるモードでしたが、現在はタッピング モードと同様に簡単に使用できるようになりました。 Ergo…

ORCA™ は Cypher AFM/SPM で利用でき、コンダクティブAFMイメージングやI-V測定が可能です。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。

レーザー干渉変位計測（IDS; Interferometric Displacement Sensor）はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるたわみ検出法（OBD, optical beam deflection）で使用されるカンチレバー角度の代わりに、カンチレバーのたわみ (deflection) を直接測定します。IDSは静電結合によるアーティファクトを排除し、特に圧電応答力顕微鏡（PFM）や…

走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM) は、原子間力顕微鏡 (AFM) を用いたナノエレクトリカル・イメージング手法であり、マイクロ波高周波 (RF) 信号により、半導体サンプルなどの「電荷キャリアの位置」や「ドーパントレベル」、「キャリアタイプ（p型 / n型の判別）」のマッピングを行います。最新技術を駆使して設計されたこの新しいSCMは、従来のものと比べて高い性能と機能をご提供します。

Cypher AFM のHV-PFMオプションにより、強誘電体やマルチフェロイクスなど、圧電体の高感度、高バイアス、クロストークフリーな測定が可能になります。キットには、組込みの高電圧アンプ（±150 V）、高電圧用カンチレバーホルダー、高電圧用サンプルマウント、および導電性カンチレバーが含まれます。

電気化学セル（ECセル）により、電気化学過程の評価が可能となります（EC-AFM）。 EC セルのキットには、液体カップ、プローブホルダ、サンプルホルダ、および標準電極が含まれています。ユーザーは、各自でポテンショスタットを選択できます。また、EC セルはグローブボックスに対応しています。 Cypher Sを除くすべてのCypher AFM/SPMで利用可能です。

Cypher AFM/SPMにsMIMを搭載することにより、金属、半導体、絶縁体においてナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能です。

nanoTDDB™ はCypher AFM/SPMで使用できるモードです。ナノスケールの精度で誘電体薄膜の破壊電圧を検出できるため、その特性評価が可能になります。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタリングしながら、最大±150 V の一定または勾配変化させたバイアスを印加できます。

STM （Scanning Tunneling Microscopy, 走査型トンネル顕微鏡）モードは、導電性サンプルの超高分解能イメージングに有用です。Cypherシステムの並外れた安定性と低ドリフト性は、AFMイメージングだけでなく、STMに対しても効果的です。

ESM（Electrochemical Strain Microscopy, 電気化学ストレイン顕微鏡，電気化学歪み顕微鏡）は、Cypher AFMで利用できる新しい走査型プローブ顕微鏡法です。これまでにない分解能で、固体中の電気化学反応やイオン流を調べることができます。