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走査型熱顕微鏡 (SThM; Scanning Thermal Microscopy)

MFP-3D AFM/SPM 原子間力顕微鏡ファミリー用の、シリコン製微細加工プローブとSThMプローブホルダを使うことで、従来のWollastonワイヤプローブに比べて高分解能な温度・熱伝導率の単点およびマッピング測定が可能となります。


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