走査型熱顕微鏡 (SThM; Scanning Thermal Microscopy)

市販のハードドライブのR/Wヘッドの走査型熱顕微鏡（SThM）イメージ。SThMデータは、表面形状像に重ねてカラー表示され、暗い領域は熱伝導率が高いことを示しています。黄色とオレンジ色の領域の温度差は約0.02°Cです。研磨線が形状像で明確に見えています。MFP-3Dを用いてイメージを取得。8.5 µm スキャン。

MFP-3D AFM

MFP-3D AFM/SPM 原子間力顕微鏡ファミリー用の、シリコン製微細加工プローブとSThMプローブホルダを使うことで、従来のWollastonワイヤプローブに比べて高分解能な温度・熱伝導率の単点およびマッピング測定が可能となります。

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