ロケーション:
幕張メッセ
事業部:
Plasma Technology, Asylum Research, WITec | Raman
Jupiter XR AFMのnanoTDDB機能は、ナノ領域の絶縁破壊特性をウェハのまま評価することが可能です。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタしながら、最大±150 Vの一定または勾配変化させた電圧を印加することができます。
*nanoTDDB は、Jupiter XR AFM対応のアクセサリの一つです
ウェビナー「半導体用絶縁材料の前処理と特性評価」(英語)で、nanoTDDBの動作をご覧ください(日本時間2022年12月8日 1:00 AM - 2:00 AM 開催予定)。