Ergo (エルゴ) による先進の自動化機能

Jupiter XRのAdvanced Automationパッケージは、複数の測定箇所での自動測定を効率的に行えるソフトウェアです。これにより、測定が常に最適な条件で行われるようになると同時に、作業効率と利便性が向上します。

アドバンスオートメーションの特徴：

• 安定した結果を得るための使いやすいワークフロー
• 200 mmチャックのどの位置でも測定できるステージ自動化機能
• カスタマイズ可能な測定条件をレシピに保存
• 自動化を1回実行することにより、異なる測定用に複数のスキャンプロファイルを作成

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