Jupiter XRによる半導体向けソリューション

大型試料対応AFM "Jupiter XR"を用いた半導体用途向けのソリューションを、「異物解析」をメインに「ラフネス評価」,「不良解析」の点からご提案します。

異物解析では、欠陥検査装置で検出されたnmサイズの欠陥・パーティクルをAFMで形状測定し、TEM解析につなげる異物の「ローカリゼーション」が可能です。　ラフネス測定においては、半導体の微細化に伴いpmオーダーのラフネス制御が求められるなか、再現性と安定性を確保しながら高スループット化を達成するテクノロジーを紹介します。

Jupiter XRの「広域・高速スキャン」「光熱励振タッピングモード」「座標補正機能」「オートパイロット」などの機能が、従来AFMの常識を覆すスピードと精度で作業効率を劇的に改善します。

本紙ではAFM以外に異物解析で適用可能な組成分析・マーキング製品をご紹介致します。

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