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Vero S: 干渉計搭載型AFM

Vero Sは、Asylumの次世代Vero AFMの標準環境構成であり、Quadrature Phase Differential Interferometer(QPDI)を用いて真の探針変位を精密かつ正確に測定します。

QPDI :

  • 真の探針変位を測定
  • 測定感度を向上
  • 面内方向成分に由来するクロストークを回避
  • 光の波長で精密に校正

Vero Sの特徴:

  • 他のAFMよりも高い分解能を日常的に達成
  • 高速スキャンにより結果が数秒で得られる(従来の数分から大幅短縮)
  • blueDrive光熱励振による簡便で安定したタッピングモードイメージング(オプション)


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Vero Sは、Cypher Sの超高安定性と高性能を基盤としつつ、次世代Vero AFMファミリーに特有のQPDIの利点を追加しています。

他のAFM顕微鏡よりも常に高い分解能を実現

  • 比類のない機械的安定性—ノイズフロアは他社のAFMの半分
  • 極めて低いドリフト—高分解能とゆがみのない格子像
  • 低ノイズ電子回路—電子回路ノイズ源によるアーティファクトなし

高速スキャンにより結果が数秒で得られる(従来の分単位から大幅短縮)

  • 一般的なAFMよりも10~100倍高速なスキャン
  • 最速・最小プローブに対応
  • 形状測定を超えた高速スキャン—ナノメカニクス、cAFM、PFMにも対応

操作のあらゆるステップが簡素化され、驚異的な生産性を実現

  • ModeMaster™は選択したモードに合わせてソフトウェアを自動設定
  • SpotOn™により、レーザーと検出器のアライメントは完全モーター駆動されワンクリックで完了
  • GetReal™がカンチレバーばね定数と感度を自動校正
  • GetStarted™がタッピングモードイメージングの最適パラメータを自動設定
  • blueDrive™により、タッピングモードがより簡便に、より安定し、より定量的に

ラボでのコンパクトな設置から生み出される期待以上の機能拡張性

  • 粘弾性特性(貯蔵弾性率および損失弾性率)の測定ができる全ナノメカニカル特性モードの利用が可能
  • 比類のない多彩なナノエレクトリカルおよびエレクトロメカニカル特性評価モード
  • 環境制御機能の付加についてはVero ESに、超高速イメージング機能の付加については Vero VRS1250にアップグレード可能
  • 標準測定モードを豊富に搭載。さらにオプションで多くのモードが利用可能に

充実したサポート体制

  • 標準で1年間の保証が付与
  • テクニカルサポートと専門家によるアプリケーションサポートが 利用可能
  • 業界で最も低価格で付与できる延長保証と修理費用

真の先端変位を測定

  • QPDIはカンチレバー角度ではなく真の先端変位を直接測定するため、多くのAFM測定の定量化精度が向上します。

測定感度を向上

  • QPDIは多くのカンチレバーにおいて検出ノイズを最大10倍以上低減し、測定感度を向上させます。

垂直力と面内力間のクロストークを回避

  • QPDIのみが純粋な垂直方向の先端変位を測定するため、OBDの垂直方向と横方向のたわみ信号間の大規模なクロストークを回避します。

光の波長による精密な校正

  • 干渉計検出は、OBD校正に伴う仮定や不確実性を回避します。

含まれる動作モード

コンタクトモード
Dart PFM
デュアルAC(バイモーダル)
Dual-AC共振トラッキング(DART)
電気力顕微鏡(EFM)
フォースカーブ
フォースマッピングモード(フォースボリューム)
フォースモジュレーション
周波数変調(FM)
ケルビンプローブフォース顕微鏡 (KPFM)
水平力モード(LFM)
ロスタンジェントイメージング
磁気力顕微鏡(MFM)
ナノリソグラフィーおよびナノマニピュレーション
位相イメージング
ピエゾ応答力顕微鏡(PFM)
スイッチングスペクトロスコピーPFM
タッピングモード(ACモード)
デジタルQ制御付きTAPモード
ベクターPFM

オプション動作モード

AM-FM 粘弾性マッピングモード*
コンタクト共振粘弾性マッピングモード*
高速フォースマッピングモード(FFM)
コンダクティブAFM(cAFM, 通称ORCA)
高速フォースマッピングによる電流マッピング
電気化学ストレイン顕微鏡(ESM)
ナノスケール絶縁膜経時破壊(nanoTDDB)
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)
走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡(sMIM)
走査型トンネル顕微鏡(STM)

(*これらのモードは、Vero SにblueDriveが装備されている場合、またはオプションのピエゾ駆動プローブまたはサンプルアクチュエータでサポート可能な場合に利用可能です)

Veroをもっと活用する方法を見つけよう...

Veroアプリケーションノート:
コンタクトモードの再定義
Veroアプリケーションノート:
によるAFM精度の向上
Veroアプリケーションノート:
によるAFM精度の向上
Veroテクニカルノート:
QPDIの解説

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