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Vero ES: 干渉計搭載型AFM

Vero ESは、Asylumの次世代Vero AFMにおける環境制御構成であり、Quadrature Phase Differential Interferometer(QPDI)を用いて真の探針変位を精密かつ正確に測定します。

QPDI:

  • 真の探針変位を測定
  • 測定感度を向上
  • 面内方向成分に由来するクロストークを回避
  • 光の波長で精密に校正

Vero ESの特徴:

  • 卓越した環境制御オプション
  • 他のAFMよりも高い解像度を日常的に達成
  • 高速スキャンにより結果が数秒で得られる(従来の数分から大幅短縮)
  • blueDrive光熱励振による簡便で安定したTAPモードイメージング(オプション)


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Vero ESは、Cypher ESの超高安定性と高性能を基盤としつつ、次世代Vero AFMファミリーに特有のQPDIの利点を追加しています。

他のAFMよりも常に高い分解能を実現

  • 比類のない機械的安定性—ノイズフロアは他社のAFMの半分
  • 極めて低いドリフト——高分解能とゆがみのない格子像
  • 低ノイズ電子回路—電子回路ノイズ源によるアーティファクトなし

高速スキャンにより結果が数秒で得られる(数分ではなく)

  • 一般的なAFMよりも10~100倍高速なスキャン
  • 最速・最小プローブに対応
  • 形状測定を超えた高速スキャン—ナノメカニクス、cAFM、PFMにも対応

操作のあらゆるステップが簡素化され、驚異的な生産性を実現

  • ModeMaster™は選択したモードに合わせてソフトウェアを自動設定
  • SpotOn™により、レーザーと検出器のアライメントは完全モーター駆動されワンクリックで完了
  • GetReal™がカンチレバーばね定数と感度を自動校正
  • GetStarted™がタッピングモードイメージングの最適パラメータを自動設定
  • blueDrive™により、タッピングモードがより簡便に、より安定し、より定量的に

ラボでのコンパクトな設置から生み出される期待以上の機能拡張性

  • 粘弾性特性(貯蔵弾性率および損失弾性率)の測定ができる全ナノメカニカル特性モードの利用が可能
  • 比類のない多彩なナノエレクトリカルおよびエレクトロメカニカル特性評価モード
  • 超高速イメージング機能の付加についてはVero VRS1250にアップグレード可能
  • 標準測定モードを豊富に搭載。さらにオプションで多くのモードが利用可能に

充実したサポート体制

  • 標準で1年間の保証が付与
  • テクニカルサポートと専門家によるアプリケーションサポートが利用可能
  • 業界で最も低価格で付与できる延長保証と修理費用

密封セルによる気体・液体灌流を実現

  • 完全密閉型サンプルセルが制御環境を維持し、漏洩リスクを排除
  • 高速スキャンおよび全ての環境制御アクセサリに対応

0~250℃の広い範囲でサンプル温度を制御

  • 250°Cまでの加熱、または0~120°Cの加熱・冷却の2オプションを用意
  • 低ドリフト設計により、温度変化中もイメージングを継続可能
  • 外部コントローラー、チューブ、配線など不要で、迅速かつ簡単にセットアップ・使用可能

過酷な化学薬品との広範な互換性を実現

  • サンプルセルは、溶融石英とプローブクリップ(PEEKまたはステンレス鋼)のみが液体と接触する構造
  • オプションのグローブボックス構成により、酸素や水に敏感な材料の使用が可能

真の先端変位を測定

  • QPDIはカンチレバー角度ではなく真の先端変位を直接測定するため、多くのAFM測定の定量化精度が向上します

測定感度を向上

  • QPDIは多くのカンチレバーにおいて検出ノイズを最大10倍以上低減し、測定感度を向上させます

垂直力と面内力間のクロストークを回避

  • QPDIのみが純粋な垂直方向の先端変位を測定し、OBDの垂直方向と横方向のたわみ信号間の大規模なクロストークを回避します

光の波長によって精密に校正される

  • 干渉計検出はOBD校正に伴う仮定や不確実性を回避します

含まれる動作モード

コンタクトモード
DART PFM
デュアルAC(バイモーダル)
Dual-AC共振トラッキング(DART)
電気力顕微鏡(EFM)
フォースカーブ
フォースマッピングモード(フォースボリューム)
フォースモジュレーション
周波数変調(FM)
ケルビンプローブフォース顕微鏡 (KPFM)
水平力モード(LFM)
ロスタンジェントイメージング
磁気力顕微鏡(MFM)
ナノリソグラフィーおよびナノマニピュレーション
位相イメージング
ピエゾ応答力顕微鏡(PFM)
スイッチングスペクトロスコピーPFM
タッピングモード(ACモード)
デジタルQ制御付きTAPモード
ベクターPFM

オプション動作モード

AM-FM 粘弾性マッピングモード*
コンタクト共振粘弾性マッピングモード*
高速フォースマッピングモード(FFM)
コンダクティブAFM(cAFM, 通称ORCA)
高速フォースマッピングによる電流マッピング
電気化学ストレイン顕微鏡(ESM)
ナノスケール絶縁膜経時破壊(nanoTDDB)
走査型トンネル顕微鏡(STM)

(*これらのモードは、Vero ESにblueDriveが装備されている場合に利用可能です)

Veroをもっと活用する方法を見つけよう...

Veroアプリケーションノート:
コンタクトモードの再定義
Veroアプリケーションノート:
によるAFM精度の向上
Veroアプリケーションノート:
によるAFM精度の向上
Veroテクニカルノート:
QPDIの解説

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