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サンプル真空チャック

MFP-3D AFM/SPM用の真空チャックは、サンプルの上面に機械的に接触することなく、また裏面にも接着剤を使用せずに、平坦なサンプルを固定することができます。真空チャックには 3 つのリング状の溝が設けられており、その溝に沿って真空が引かれ、 3 インチまたは 4 インチウエハー、あるいは 0.8 インチから 3 インチのサイズのサンプルを固定します。
注意: ウエハーの全領域にアクセスできるわけではありません。


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