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AFM/SPM イメージギャラリー:Jupiter XR 高速スキャニング

シリコン基板上のパターン(段差200 nm)​

従来のAFMで高速スキャンをする場合には、スキャン範囲 が数 µm かつ原子ステップ程度の試料に限定されます。Jupiter XRでは100 µmの広域スキャンだけでなく、数100 nmの段差がある試料でも高速スキャンが可能です。