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Jupiter XR 原子間力顕微鏡(AFM/SPM )

 Jupiter XR は大型試料対応の原子間力顕微鏡(AFM/SPM)で、原子・分子レベルの「超高分解能」に加え、「高速スキャン」「広域スキャン」を兼ね備えた、基本性能に優れたAFMです。革新的かつ堅牢な最新設計に加え、独自のblue Drive 光熱励振タッピングにより、安定した再現性の高い測定が可能で、ナノラフネス 粗さ測定において、15時間 1000枚の連続測定を可能にします。

  • 従来のステージ型AFMを凌駕する最新設計とテクノロジー

  • blue Driveタッピングと堅牢設計による安定した再現性の高い測定

  • 超高分解能・高速スキャン・広域スキャンを単一のスキャナで達成(スキャナの交換不要)

  • 原子・分子レベルの空間分解能

  • 最速 数十Hzの高速スキャン

  • 広いスキャンレンジ(100µm)

  • こだわりの光学顕微鏡設計と、操作性に優れたNewソフトウェア『Ergo』


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Exploring the "Jupiter XR" with new "ERGO" software 

blueDrive タッピングによる究極の「安定性」と「再現性」

 
 Jupiter XRは、極めて安定性・再現性の高い定量的なラフネス(粗さ)測定を実現します。左図は、メディアディスク基板のナノラフネス測定を、15時間にわたり1000イメージを連続測定し、ムービーにしたものです。表面粗さの標準偏差(Rq)は、1%以内で非常に安定した再現性を示しています。
 この安定性は、アサイラム独自のblueDrive光熱励振を用いたタッピングモードにより、常に安定した振動振幅を維持することが可能であり、カンチレバーTipの摩耗を最小限に低減することで、データの安定性・再現性・定量性を向上することが可能です。

 

・スキャンレート 10Hz

・512 x 512

Jupiter XR AFMカタログ

最高の性能

  • 他の大型サンプル用AFMを凌駕する高分解能
  • X-Yレンジ100 μm,Zレンジ12 μmを確保しつつ、既存のAFMよりも5~20倍速いスキャンを達成
  • 独自のblueDrive™光熱励振によるタッピングモードにより、測定再現性が確保され、操作も容易に

よりシンプルなユーザーエクスペリエンス

  • レーザーおよび検出器の設定が完全モーター駆動のため、手動調整が不要
  • 200 mmサンプル全域へのアクセスが可能な高速ステージにより、サンプル上の任意の点へ迅速に到達
  • 鮮明なトップビュー光学系により、関心領域を正確かつ容易に検出
  • スキャナを交換することなく単一のXRスキャナで、超高分解能から100 μm広域スキャンまで対応かつ、あらゆるイメージングモードが使用可能

多様な研究ニーズに応える汎用性

  • さまざまなイメージングモードに対応
  • モジュール設計により、アクセサリの追加や将来のアップグレードが迅速かつ容易に
  • ソフトウェアに柔軟性があるため、高度な研究を可能にしながらルーチン測定も容易

標準装備の操作モード

コンタクトモード
DART PFM
デュアル AC
デュアル AC共振トラッキング(DART)
電気力顕微鏡(EFM)
フォース・カーブ
フォース・マッピングモード(フォースボリューム)
フォース・モジュレーション
周波数変調
ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)
水平力モード(LFM)
ロスタンジェントイメージング
磁気力顕微鏡(MFM)
ナノリソグラフィ
ナノマニピュレーション
位相イメージング
圧電応答顕微鏡(PFM)
スイッチング・スペクトロスコピーPFM
タッピングモード (ACモード)
デジタルQコントロール
ベクトルPFM

Jupiter XR は、blueDrive光熱励振*が標準搭載されているため、下記も標準装備の操作モードになります

AM-FM 粘弾性マッピングモード
コンタクト共振粘弾性マッピングモード

blueDrive光熱励振はアサイラム・リサーチのCypher AFMのオプション。従来のカンチレバーのドライブ機構を光熱励振に置き換えることにより、タッピングモード(ACモード)を改善(シンプル・安定・定量化)。blueDriveはカンチレバーの根元にブルーレーザーを照射して、カンチレバーに小さな局所加熱を引き起こして励振させます。光を使うため、カンチレバーだけを励振させることができ、AFMの他の機械部品を振動させてしまうことがないため、極めてクリーンな応答・チューンが得られます。

オプション操作モード

ORCA™ およびEclipse™ モードを使用したコンダクティブAFM(CAFM)
高速フォースマッピングモードによる電流マッピング
電気化学ストレイン顕微鏡(ESM)
高速フォースマッピングモード
高電圧PFM
ナノスケール絶縁膜経時破壊(nanoTDDB)

その他アプリケーション

ナノマテリアルの成長と特性評価ケミカル・分子構造測定自動車用タイヤバッテリー技術太陽光発電技術コンポジット・構造機械・電子特性故障解析ポリマー(高分子)の物性測定層状高分子構造のイメージング・故障解析ポリマー添加剤の分析低次元構造の物性評価LED製造・特性評価