オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
拡張

Jupiter XR 原子間力顕微鏡(AFM/SPM )

 Jupiter XR は大型試料対応の原子間力顕微鏡(AFM/SPM)で、原子・分子レベルの「超高分解能」に加え、「高速スキャン」「広域スキャン」を兼ね備えた、基本性能に優れたAFMです。革新的かつ堅牢な最新設計に加え、独自のblue Drive 光熱励振タッピングにより、安定した再現性の高い測定が可能で、ナノラフネス 粗さ測定において、15時間 1000枚の連続測定を可能にします。

  • 従来のステージ型AFMを凌駕する最新設計とテクノロジー

  • blue Driveタッピングと堅牢設計による安定した再現性の高い測定

  • 超高分解能・高速スキャン・広域スキャンを単一のスキャナで達成(スキャナの交換不要)

  • 原子・分子レベルの空間分解能

  • 最速 数十Hzの高速スキャン

  • 広いスキャンレンジ(100µm)

  • こだわりの光学顕微鏡設計と、操作性に優れたNewソフトウェア『Ergo』


お問い合わせ

Exploring the "Jupiter XR" with new "ERGO" software 

blueDrive タッピングによる究極の「安定性」と「再現性」

 
 Jupiter XRは、極めて安定性・再現性の高い定量的な表面粗さ(ラフネス)測定を実現します。左図は、メディアディスク基板の表面粗さ ナノラフネス測定を、15時間にわたり1000イメージを連続測定し、ムービーにしたものです。表面粗さの標準偏差(Rq)は、1%以内で非常に安定した再現性を示しています。
 この安定性は、アサイラム独自のblueDrive光熱励振を用いたタッピングモードにより、常に安定した振動振幅を維持することが可能であり、カンチレバーTipの摩耗を最小限に低減することで、データの安定性・再現性・定量性を向上することが可能です。

 

・スキャンレート 10Hz

・512 x 512

Jupiter XR カタログ
技術資料 - ナノラフネス測定(英)

『従来のステージ型AFMを凌駕する最新設計とテクノロジー』

"Cypher"をベースにしたコンセプトに、"MFP-3D"の多様性・拡張性を踏襲した、「大型サンプル対応モーターステージ」搭載のAFM

 

■単一のスキャナで「高分解能」「高速スキャン」「広域スキャン」を達成!! 
 面倒なスキャナの交換作業は不要です。

 ①超高分解能観察

  ・Cypherに引けをとらない原子・分子分解能を大型試料対応AFMで実現

  ・超フラット基盤のラフネス測定に最適

 ②高速スキャン

  ・Cypher同様の高速スキャン。10μmスキャンでラインレート20Hz以上。

 ③広域スキャン

  ・スキャンエリア100umを確保(90μm保証)。

 

■Ease of Use 

  ・モーターステージは200mmサンプル全域へのフルアクセスが可能

  ・こだわりのTop-View光学顕微鏡による鮮明な画像は、関心領域をかんたんに視認できます (回折限界: ≦1.5μm)

  ・光てこ光学系 (レーザー&検出器)を、1-Clickで自動調整

  ・カンチレバーを、1-Clickで自動キャリブレーション

  ・ウィザード形式を採用した新しい制御ソフト"Ergo(エルゴ)"を搭載

 

■多様な研究ニーズに応える拡張性 

  ・MFP-3Dを踏襲したモジュール設計により、アクセサリの追加や将来のアップグレードが容易

  ・様々なイメージングモードに対応

  ・開放的な試料周りはアクセス性が良く、独自の実験系の構築が容易

 

■blueDrive 光熱励振タッピングを標準搭載 

  ・カンチレバーだけを直接励振させることで、驚くほどきれいなチューンカーブが簡単に得られます
   加えて、長時間にわたり安定した微小振幅を維持できるため、データの安定性・再現性が飛躍的に向上し、
   Tipの摩耗を大幅に低減します

形状測定(トポグラフィー)

・コンタクトモード

・タッピングモード(ACモード)
 ・AM-AFM (振幅変調)、FM-AFM (周波数変調)
 ・ピエゾ励振、blueDrive (光熱励振)
 ・引力モード、斥力モード
 ・バイモーダル Duarl ACモード

・Fast Force Mappingモード 【オプション】

その他

・ピエゾ応答顕微鏡(PFM)
 ・デュアルAC共振トラッキング(DART PFM)
 ・スイッチングスペクトロスコピーPFM
 ・ベクトルPFM
・電気化学ストレイン顕微鏡(ESM)
・磁気力顕微鏡(MFM)
・リソグラフィー
・マニピュレーション

機械特性・力学物性(ナノメカニクス) (詳細)

■Force Curveベースの測定

 ・Force Curve

 ・Force Curve Mapping

 ・Fast Force Mapping【オプション】

■タッピングモードベースの測定

 ・Phaseモード(位相モード)

 ・バイモーダルDual ACモード

 ・ロスタンジェント

 ・AM-FM粘弾性マッピングモード

■コンタクトモードベースの測定

 ・コンタクト共振粘弾性マッピングモード

 ・水平力顕微鏡(LFM)

電気特性 (詳細)

・コンダクティブAFM(C-AFM、通称; ORCA)【オプション】

・高速電流マッピング【オプション】
  Fast Force Mappingベースの間欠接触式のC-AFM

・電気力顕微鏡(EFM)

・ケルビンフォース顕微鏡(KPFM)

・走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)【オプション】

その他アプリケーション

ナノマテリアルの成長と特性評価ケミカル・分子構造測定自動車用タイヤバッテリー技術太陽光発電技術コンポジット・構造機械・電子特性故障解析ポリマー(高分子)の物性測定層状高分子構造のイメージング・故障解析ポリマー添加剤の分析低次元構造の物性評価LED製造・特性評価