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nanoTDDB(ナノスケール絶縁膜経時破壊)

Jupiter XR AFMnanoTDDB機能は、ナノ領域の絶縁破壊特性をウェハのまま評価することが可能です。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタしながら、最大±150 Vの一定または勾配変化させた電圧を印加することができます。

  • AFM探針の優れた空間分解能により、従来のプローバでは不可能であった、微小スケール(~20 nm)での、局所的な絶縁破壊の測定が可能になります。
  • 高解像なAFMイメージから測定点を正確に指定し、グリッドで指定した点をマッピングすることが可能です。

*nanoTDDB は、Jupiter XR AFM対応のアクセサリの一つです

ウェビナー「半導体用絶縁材料の前処理と特性評価」(英語)で、nanoTDDBの動作をご覧ください(日本時間2022年12月8日 1:00 AM - 2:00 AM 開催予定)。


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